真空抽氣機組概況及原理

ZJP型帶旁通閥羅茨真空泵，是ZJ型羅茨真空泵的派生產(chǎn)品，抽氣原理與ZJ型泵一樣，它也是利用一對８字形轉(zhuǎn)子在泵殼中保持一定的間隙，作等速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的。所不同的是ZJP型帶旁通閥羅茨真空泵的進、排氣口相連通，在二者的通道上垂直地安裝著一個重力閥。其作用是當進氣口和排氣口的壓力差與閥的有效作用面積的乘積超過閥頭的自重時，閥頭就自動頂開。這個數(shù)值是泵可靠運轉(zhuǎn)的高壓力差值，因此，這種閥實際上就是一種過載自動保護閥，也是ZJP 型帶旁通閥羅茨真空泵的大優(yōu)點。

真空抽氣機組的特點

主要特點：

• 無油潔凈，滿足各種無油及腐蝕性特殊工況要求
• 過載自動保護，適合高壓差工況，運行安全、可靠
• 高精度、高轉(zhuǎn)速、高效率，降低使用成本，提高經(jīng)濟效益
• 無泄漏、低噪聲、低震動，運行、維護成本更低
• 不銹鋼機械密封，密封性能穩(wěn)定、使用壽命長。

真空抽氣機組的特點

規(guī)格參數(shù)：

因而用戶可根據(jù)不同的使用要求來正確選擇機組的級數(shù)。用戶如有特殊要求也可與本公司直接，由本公司相關技術人員來選型。

真空系統(tǒng)由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源(Ф60，Ф80直徑靶材，氣動、電動的引弧等)，真空測量可選擇數(shù)字式智能真空計及其的測量規(guī)管，及其它測量儀器，如自動壓強控制儀等。